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分子泵的选型及注意事项
分子泵的选型及注意事项
来源:成都新德南光机械设备有限公司 | 发布时间:2016-05-04 |
满足系统的抽气要求,工作节拍在对系统的气载、工作节拍有较清楚计算的基础上,考虑配泵的大小,数量。
同时还要考虑到前级泵的大小,以及分子泵在高压强段有效抽速降低等因素。
对于大的工作腔室,要考虑配罗茨泵机组,使得系统尽快地渡过高压强工作段
满足系统的本底压强(极限)的要求
系统的极限压强除与分子泵的极限压强有关外,与排气时间、腔室材料、法兰连接形式、清洁程度、是否烘烤等诸多因素有关。
同一型号的分子泵在极限指标方面有微小差异,差异一般不会高于半个量级。
安装方式方面的考虑:
注意分子泵正常工作时所需的入口、出口压强等工作条件
在高压强段(1Pa左右)需较大排气能力时,可考虑选用复合型分子泵
若关心对某种气体的抽除能力(如该种气体的分压强值),还要注意分子泵对该气体的抽速、压缩比等参数。