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分子泵机组工作原理
分子泵机组工作原理
来源：成都新德南光机械设备公司 | 发布时间：2024-05-25 |
分子泵机组是一种高科技的真空设备，广泛应用于科研、工业制造、航空航天等领域。它的核心功能是通过高效抽气，为各种实验和工艺过程创造高真空或超高真空环境。
一、基本工作原理
分子泵机组的工作原理主要基于气体分子的动力学行为和分子流理论。在高真空环境下，气体的流动状态接近分子流，即气体分子之间的碰撞几率远低于气体分子与器壁之间的碰撞。分子泵利用这一特性，通过高速旋转的转子和定子的组合，对气体分子进行高效的抽吸和压缩。二、转子与定子的作用
转子：分子泵的转子通常由多个倾斜的叶片组成，这些叶片在高速旋转时，能有效地对气体分子进行压缩和排放。转子的设计充分考虑了气体动力学原理，以确保在高速旋转时能够最大限度地捕获和压缩气体分子。定子：定子位于转子周围，其作用是引导气体分子进入转子叶片间的压缩通道。定子通常由一系列环形片组成，这些环形片与转子叶片之间形成狭小的间隙，使得气体分子在通过这些间隙时被压缩并排出。
三、抽气过程
分子泵的抽气过程可以分为以下几个步骤：捕获：当气体分子进入分子泵时，首先被定子捕获，并引导至转子叶片的压缩通道。
压缩：在转子高速旋转的过程中，气体分子被压缩在转子叶片与定子环形片之间的狭小间隙中。随着转子的旋转，气体分子被逐渐压缩并推向排气口。
排放：压缩后的气体分子最终通过排气口排出分子泵，进入下一级真空泵或大气中。
