真空烧结炉操作流程
来源：网络 | 发布时间：2024-09-21 |
真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。
一、真空烧结炉操作流程
1、通电前检查
通电前，检查各开关是否放在（关）位，升温方式为“手动”，功率调节逆时针旋到头（低）。确认无误后再根据工艺要求的顺序来启动机械泵、扩散泵。
2、测量炉内真空度
根据真空计的操作进行，当达到要求的真空度时，才能加热升温。
3、抽真空
紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运转正常后，打开通向炉体的低真空阀，预先对炉体抽气，此阀打开时应缓慢，以免机械泵排气口处有油喷出。
4、打开真空阀
炉体抽真空的同时，打开真空阀，对扩散泵抽气，当真空度达到15Pa后，先开启扩散泵上的冷却水，然后对扩散泵加热，一般经过45分钟左右扩散泵起作用，就可关上通向炉体的真空阀，打开真空阀，真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上，即可对电炉通电加热。
5、加热
次加热因放气较多，真空度容易下跌，另外工件加热放气也使真空下跌，所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热，等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作，另外扩散泵油在太低真空下易氧化，导致扩散泵无法作用。也可在低真空下加热除气，等放气基本结束，再开高真空。另外电炉在不用时抽真空状态下保存，下次抽气快些。欲停止抽真空，应先关闭高真空阀，然后停止加热，1个半小时后，关闭低真空阀，停止机械泵运转，只有在扩散泵冷却之后，才切断其冷却水供应。
6、手动升温
在炉温200℃以下先用手动方式升温，否则控温不准。在真空状态下按加热启动按钮，缓慢调节手动功率（顺时针方向），使电流慢慢上升，禁止超过次额定电流1100A，电炉温度随之上升。1000-2000℃，可采用红外自动控制炉温。
7、降温
降温可按预先设定的程序控制降温，也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水，否则炉体密封圈会烧坏。
二、真空烧结炉操作注意事项
1、电炉外表应经常保持整洁，不用时应保持真空，否则下次使用会导致抽真空率降低。
2、真空炉及真空系统使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂，轴向密封指观察窗挡板座、气动真空蝶阀等部位。
3、自动进出热电偶系统在使用半年后应旋开热电偶座加注扩散泵油。
4、真空炉的观察窗玻璃在使用炉后应卸下清洁。
